|
|
|
|
|
ФОТОЛИТОГРАФИЯ |
Большая советская энциклопедия (БЭС) |
1) специальный фотография, процесс на Фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей способностью (См. Разрешающая способность). Цель Ф. – создать в слое фоторезиста «окна» заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной плёнкой. Такие «окна» образуются при экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения или в потоке электронов, в результате которого он теряет (негативный фоторезист) или приобретает (позитивный фоторезист) способность к растворению. Одним из многочисленных применений Ф. служит получение этим методом сотен тысяч мельчайших упорядоченно расположенных отверстий в масках цветных телевизоров. См. также Планарная технология. 2) Фотомеханический способ изготовления литографской печатной формы (см. Литография), при котором изображение с негатива копируется на светочувствительный слой, покрывающий поверхность литографского камня (или металла). После проявления копии её подвергают химической обработке, в результате которой поверхность разделяется на печатающие и пробельные элементы. В настоящее время (2-я половина 20 в.) Ф. применяется чрезвычайно редко. 3) Оттиск с литографской печатной формы, изготовленной по способу Ф.
|
Орфографический словарь Лопатина |
фотолитогр`афия, фотолитогр`афия, -и |
Словарь Ушакова |
ФОТОЛИТОГР’АФИЯ, фотолитографии, ·жен. (·тип. ). Литография, основанная на применении фотографии. см. фото... в 1 ·знач. |
Толковый словарь Ефремовой |
[фотолитография]
ж.
Литография, основанная на применении фотографии (1). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|